未曾忘卻的記憶：回旋在酒仙橋地區(qū)的集成電路夢

前言

 

人生七十古來稀，如今八十不稀奇?；叵肫鹪诒本〇|郊酒仙橋地區(qū)工作35年、生活了55年的人生，一年一年看著以前的領導、同事、同學們一個個地離我們而去，想想自己今年剛過八十足歲不久，但不知余日還有幾何？一旦兩腳一伸什么都煙消云散，不如當腦子還有記憶的時候把往事寫出來，留給后人看看，也許還有些用處。特別要學習我清華同班同學秦鵬頑強拼搏的精神，當他身患重病時還不停地寫出自己一生的經(jīng)歷。他的榜樣鼓勵著我寫下去。

 

以此文紀念四機部已故的集成電路行業(yè)的領導和干部：權玉臣、李典舉、李德廣、李會昌、陳文華、戚正榮；紀念已故的單位領導和同事：王正華、梁振中、孫義芳、龔凱。

 

本文共分六大部分：

一、北京電子管廠起步研制固體電路

二、籌建[敏感詞]家集成電路專業(yè)化工廠

三、878廠、774廠、器件二廠發(fā)展階段

四、籌建燕東聯(lián)合公司階段

五、燕東公司成長擴大階段

六、燕東新廠建設發(fā)展階段

以下正文 

 

一、北京電子管廠起步研制固體電路

 

1963年7月我從清華大學無線電系半導體專業(yè)畢業(yè)，8月就到被分配的北京電子管廠報到，即四機部直屬的774廠。北京電子管廠是在我國[敏感詞]個五年計劃期間由蘇聯(lián)援助我國建設的156項工程之一，她在1956年10月15日舉行開工典禮，是上世紀60年代亞洲[敏感詞]的電子管廠。電子管是[敏感詞]代電子器件。

工廠在北京東郊的酒仙橋工業(yè)區(qū)，因為在工廠廠區(qū)和宿舍區(qū)之間有一座橋叫酒仙橋而得名。

 

圖一、北京電子管廠（774廠）廠區(qū)樓房

 

圖二、酒仙橋

 

圖三、酒仙橋旁酒仙雕像

 

1958年大躍進年代，在清華大學上學期間，學校安排學生下工廠見習勞動。我就曾經(jīng)到北京電子管廠化學車間陰極噴涂工序勞動過。早在1957年廠里就籌建半導體實驗室。進入60年代，廠里開始生產(chǎn)半導體晶體管，這是第二代電子器件。我進廠后分配到搞半導體的十車間鍺高頻晶體管工段勞動。半年后，1964年初調到位于工廠后區(qū)的十車間試制組工作，和同事們一起籌建硅平面型晶體管（簡稱硅平面管）試制線，安排我搞氧化和硼擴散工藝。那時候買不到半導體專用設備，所用設備都要由負責該工藝的大學生畫圖，到廠里機械加工車間加工。我負責氧化擴散爐，其他人負責光刻機、蒸發(fā)臺、外延爐，以至大照相機。機械加工完后，由電氣工人老師傅來裝配調試。最后交給我們試用，并在機械和電氣老師傅們幫助下改進之。那個年代我們就是在這樣的條件下開始研制硅平面管的。我記得還出差去唐山，到陶瓷廠去選購耐高溫的氧化鋁管，回來后和工人們一起繞康鈦絲做擴散爐管，填上耐高溫材料做成擴散爐，再和工人們一起倒班拉恒溫區(qū)。然后才開始做氧化和硼擴散工藝試驗。

1965年初，工廠編制調整，十車間改為十分廠，王正華（1952年清華大學電機系畢業(yè)）擔任技術副廠長；試制組改為試驗室，稱為三室，朱恩均（1957年北京大學半導體物理專業(yè)[敏感詞]屆畢業(yè)）擔任技術副主任。室里又分為鍺高頻大功率管大組、鍺臺式管大組和硅平面管大組。我所在的硅平面管大組試制硅高頻大功率管，而位于工廠前區(qū)的三車間搞硅高頻小功率管。當時我們試制的硅平面管型號為4S1和4S11，4S1為3～5W, 4S11為10～15W。1965年5月，我和應用組沈誠送試制出的4S11型硅平面型高頻大功率管樣管去寶雞769廠給15W“小八一”電臺試用。同時送去做試驗管子的還有石家莊第13研究所。

 

圖四、774廠三室所在樓外景

 

去寶雞出差后剛回到室里，試驗室技術副主任朱恩均找我談話，要我跟著他開始研發(fā)固體電路，也就是現(xiàn)在說的集成電路。這是美國德州儀器公司和仙童公司分別在1958年剛研究發(fā)明的第三代電子器件。這是在清華畢業(yè)前，由美國回來的黃敞先生來清華大學給我們作專題講座時才提到的新名詞，劃時代的新產(chǎn)品。當時對固體電路在我腦子里幾乎是一片空白，但是我接受了這一任務。從此開始與半導體集成電路（英文簡寫為IC，當時稱為固體電路）相伴一生。開始時就在硅平面管大組里試制，但不久就單獨組成固體電路大組，安排我擔任大組長。固體電路大組包括硼擴散、磷擴散、光刻、蒸發(fā)和后部封裝，而照相制版、磨片拋光和外延則是公共的，同時為平面管大組和固體電路大組服務。試驗室里原來沒有晶體管封裝，后部工藝只有在管子底座上燒結芯片和壓焊，然后到工廠前區(qū)車間封帽后完成封裝。而固體電路則是采用扁平外殼，在底殼上粘結芯片后經(jīng)壓焊還要自己封蓋板以完成封裝。

當初我們就靠閱讀文獻開始研究工作。我們設計的[敏感詞]塊固體電路是DTL（二極管晶體管邏輯）型與非門電路，包含平面型晶體二極管、晶體三極管和電阻，這是電子計算機布爾代數(shù)里最基本的電路，由它可以組成各種邏輯電路。工藝是反外延、SiO2介質隔離。當時所采用的硅片為小方片，先是10×10平方毫米，后來是15×15平方毫米。所采用的扁平外殼是金屬玻璃型的，由我們出零件圖，總廠工具科開模具，零件車間沖制零件：引線框架、邊框、底板和蓋板，然后玻璃分廠燒結成底殼。我們流出的硅片劃成小芯片粘在底殼里，經(jīng)過壓焊金絲后最后封上蓋板制成成品。我們[敏感詞]個用戶是位于北京韋子坑的15所，即華北計算技術研究所。在試制過程中得到他們大力支持，他們還派了技術人員來，在我們研制過程中協(xié)助我們對試制出的樣品進行測試和分析。

 

那時候我國有多家單位進行固體電路研發(fā)，北京研究單位有中國科學院半導體研究所、中國科學院計算技術研究所156工程處和北京市無線電器件研究所（簡稱沙河研究所），石家莊則有13所（即河北半導體研究所）。有一次，林巍廠長帶我專門去156工程處參觀。當時多家單位分別研制出固體電路樣品。到1965年年底，13所召開新產(chǎn)品設計定型會，在國內(nèi)[敏感詞]家鑒定了固體電路產(chǎn)品：采用介質隔離的DTL型數(shù)字邏輯電路。我也去參加了會議。由于13所和我們774廠采用相同的工藝，并且都與15所有合作關系，因此15所研制的第三代電子計算機樣機就由這兩家單位供應電路，我廠提供數(shù)量大的與非門電路，13所提供技術難度大的與非驅動器電路。1967年15所研制的采用固體電路的電子計算機樣機在當時舉辦的內(nèi)部技術成果展覽會上展出，樣機唱出了《東方紅》樂曲，這是我國自主研發(fā)的[敏感詞]批第三代電子計算機之一。當時15所參加研制[敏感詞]臺樣機的主要成員有王應銓、張先金和于紹鏞等人。

那個年代處于四清運動轉到文化大革命起始階段，大字報從大學里漫延到工廠里，后來又發(fā)展到兩派武斗。當時國家提出的口號是“抓革命 促生產(chǎn)”。固體電路大組也不是處在真空里，我允許工人們可以去廠區(qū)里看大字報，但當芯片流到你所在工序時，就要求回來操作。大伙都還支持工作，保證了研制和生產(chǎn)任務的完成，流片始終沒有間斷。

 

當時研制固體電路的工廠還有上海元件五廠，他們采用國際上通用的PN結隔離，研制TTL（晶體管晶體管邏輯）型電路，與華東計算所合作，在1966年底召開產(chǎn)品鑒定會，我也在鐵路交通因文化大革命而受到嚴重影響情況下，非常不容易地趕到上?？茖W會堂參加了會議。

當時國內(nèi)各研究所和南北兩家工廠基本上都是各自獨立研究的，工廠并沒有從研究所接產(chǎn)一說。研究所則有少量從國外回來的專家或教授為骨干，像中科院半導體所有從美國回來的林蘭英先生（搞半導體材料）和王守武先生（搞半導體物理和器件），156工程處有從美國回來的黃敞先生，而工廠里則沒有這樣的條件，完全靠國內(nèi)大學自己培養(yǎng)出來的年輕大學生和工人們一起自力更生干出來的。在我們北京電子管廠試驗室固體電路大組里，開始時有清華大學和成都電訊工程學院畢業(yè)生參加，后來又有西安交通大學、西北電訊工程學院和浙江大學畢業(yè)生參加，并增加了副組長陳光宜，她是西安交大畢業(yè)的。工人們則由三部分人組成：從前面電子管車間調來的女工，中專畢業(yè)生（后來轉為技術人員），還有由解散的總廠警衛(wèi)隊分來的男工。大家都是在實踐中學習，在摸索中前進。各大組技術上總的都由試驗室副主任朱恩均負責，他是我們技術上的領頭人。

 

我們這條試驗線，曾經(jīng)接待過北京大學半導體物理專業(yè)在校學習的大學生來線見習活動，當時是由武國英和張麗春兩位老師帶隊。也接待過一批沈陽半導體所技術人員和工人長達數(shù)月的實習活動。

 

記得在1967年嚴寒冬天某一天，四機部打來電話，通知我當天晚上到前門飯店開會。我趕到那兒，是剛從朝鮮出國回來的電子器件處處長權玉臣召開會議。會上主要討論為了加速發(fā)展固體電路，提出要建專業(yè)化工廠。因為當時在研制固體電路的部直屬廠北京電子管廠是以生產(chǎn)[敏感詞]代電子器件電子管為主的，同時也在發(fā)展第二代電子器件晶體管，再要發(fā)展第三代電子器件固體電路力度大不了。記得當年部里負責半導體的成員有肖思偉（后調去外經(jīng)貿(mào)部）、陳文華（1962年成都電訊工程學院畢業(yè)分配到部機關工作）、李典舉（1957年北京無線電工業(yè)學校畢業(yè)，曾任北京電子管廠十車間試制組組長），后來又從北京電子管廠調去李會昌（1962年西安交大畢業(yè)）和李進（1958年北京無線電工業(yè)學校畢業(yè)）。從這次會后，部里就規(guī)劃起要建一批固體電路專業(yè)化工廠。那個年代正是國家搞三線建設年代，部里規(guī)劃在大后方三線地區(qū)新建三座固體電路工廠，并取名代號為877廠、878廠和879廠。過去四機部直屬廠代號大部分是7字頭。當這一消息傳到我們774廠固體電路大組以后，組里一批從總廠警衛(wèi)隊調來的工人們覺得到山溝里新建工廠太慢，應該在北京找一地方新建快得多。于是在當時文化大革命年代政治氣氛下，他們自發(fā)地成群結隊跑到萬壽路27號四機部機關大院去，找到軍管會領導下、[敏感詞]一位沒有被打倒、還在主持工作的副部長齊一丁，向他申述了就在北京新建固體電路專業(yè)化工廠的理由。齊部長之后召集會議，聽取了管半導體工作的干部們的意見后，決定將三個廠之一的878廠就建在北京，以求快速建成盡早拿出產(chǎn)品供應[敏感詞]急需。這就是878廠沒建在三線的原因。于是1968年2月8日四機部決定在北京籌建878廠，即國營東光電工廠。而另兩廠則仍然建在三線，877廠開始建在陜西商縣，后來遷到西安；879廠原在四川青川建廠，后來轉到成都建廠，取名為紅光電工廠。

 

部里決定由774廠為主抽調人員籌建878廠，任命鄺少凡為籌備組負責人。為了加強建設878廠的領導班子，部里調了政工部門宣傳處處長陳先覺和財務司財務處處長梁振中到878廠籌備組工作。當時籌備組成立后就在北京開始招工，大部分是初中畢業(yè)生，也有小部分高中畢業(yè)生，包括外語學校英文班德文班幾個畢業(yè)生。負責勞資人事干部來774廠聯(lián)系了安排這批招來的年輕工人到我們固體電路大組試制線上實習，每一工序都安排了人員。這樣，774廠固體電路試制線為878廠培養(yǎng)了[敏感詞]批年輕工人，他們后來成為878廠工人的骨干力量。

總之，從1965年5月份開始，北京電子管廠就開始獨立地、自力更生地研究固體電路, 在十分廠試驗室里所研制出來的一批固體電路與石家莊13所研制的固體電路共同供給北京15所研制成功我國[敏感詞]批第三代電子計算機樣機。之后又投入小批生產(chǎn)。

 

附固體電路大組技術人員名單：

組長：朱貽瑋（清華1963年）

副組長：陳光宜（西安交大1962年）

硼擴散：許同玉（清華1964年）、譚家升（清華1966年）、方勝（西電1966年）

磷擴散：劉湘?zhèn)悾ǔ呻?964年）

光刻組：陳光宜（兼）、許同玉（后來參加）

蒸發(fā)組：王玉芳（成電1965年）

低溫氧化：鄭英杰（浙大1967年）

后部組：汪永生（清華1965年）

測試組；張全（成電1964年）

后又有西電1967年畢業(yè)的李梅格、王鴻軍參加。

 

圖五、三室固體電路大組部分成員

前排：左 朱貽瑋，右 許同玉，后排：中 陳光宜

 

二、籌建[敏感詞]家集成電路專業(yè)化工廠

 

878廠籌備組成立后，對廠址初步選在位于西郊清華大學東邊的768廠（大華儀器廠）廠區(qū)附近，該廠也是部直屬廠，主要生產(chǎn)微波儀器。很快就在現(xiàn)在六道口六所的位置，廠房大樓和宿舍樓都打好地基開始往上壘墻了。這時發(fā)生了一件突然事情。當時處在文化大革命時期，在一次內(nèi)部[敏感詞]科技成果展覽會上展出一項技術革新成果，將一臺小型電臺發(fā)射距離加大了不少。當林彪?yún)⒂^后問了這位革新者是誰，回答說是一位解放軍戰(zhàn)士。又問這位戰(zhàn)士的文化程度如何，回答說是初中畢業(yè)。據(jù)說當時林彪說了一句看來初中文化程度就可以了。那年代文化大革命革命對象之一是資產(chǎn)階級教授們統(tǒng)治下的高等院校，當時大學里都已停課鬧革命。當這一情況傳到四機部教育局那里，教育局長緊跟林彪，一聲令下，把四機部在全國各地十幾所中等?？茖W校全都改成工廠，如成都無線電校改為970廠，無錫無線電機械學校（當時改名為抗大）改為742廠，由市區(qū)棉花巷搬到運河旁、錫惠公園附近，后來發(fā)展成為華晶公司。而位于北京酒仙橋地區(qū)、在北京電子管廠旁邊的北京無線電工業(yè)學校（簡稱北無校）則由部里決定作為新建的878廠的場所，這是1968年10月24日由四機部下達通知后執(zhí)行的。這樣一來，在西郊六道口剛開始建的廠房和宿舍都停下來了，籌備組遷到了北無校里。之后籌備組領導班子和北無校領導班子合起來，這樣，878廠從此出現(xiàn)成員龐大的領導班子。在這樣情況下，組織上從774廠三室中陸續(xù)抽調一些技術人員到878廠籌備組，有原來負責鍺臺式管組的陸耀庭、搞外延的李樹棟和簡堯恒，在我們固體電路組中有我和搞硼擴散的方勝。當時籌備組分為政工組、生產(chǎn)組、基建組和后勤組。從774廠調來的技術人員、北無校及其實驗工廠的老師和新招來的年輕工人都在生產(chǎn)組里。我在1968年12月到878廠籌備組報到，開始工作后認識的[敏感詞]位北無校實驗工廠半導體車間老師就是李顯榮，他是北無校1960年半導體專業(yè)畢業(yè)。我倆[敏感詞]件工作就是清點半導體車間所有的儀器設備，以備使用。

北無校主要有兩棟建筑，一是教學樓，一是實驗樓，都是4層樓，各有5000平米。878廠就利用這兩座樓作為車間來搞生產(chǎn)。原來地面都是水泥地，為了生產(chǎn)集成電路要求干凈，因此首要任務是砸掉水泥地，改鋪水磨石地。當時組織在周圍幾個工廠實習回來的大部分年輕工人們參加勞動來完成這項任務。與此同時，讓我組織在774廠固體電路線上實習過的年輕工人利用北無校實驗工廠半導體車間一部分可以用上的設備開始試制固體電路樣品。有的工序不具備條件，該工序年輕工人就拿著片子到774廠師傅那兒流片。經(jīng)過大家日夜努力，在774廠協(xié)助下，878廠在不長的時間里搞出了[敏感詞]塊固體電路樣品，也是SiO2介質隔離的DTL型與非門電路。

 

在廠房改造期間，一方面組織采購國內(nèi)生產(chǎn)的半導體專用設備，一方面作技術準備。廠領導讓我組織一個精干的隊伍去上海元件五廠參觀學習TTL（晶體管晶體管邏輯）型電路工藝和設計，學習他們采用的PN結隔離工藝技術?；貜S后組織三結合小組設計與非門電路版圖，于1969年在部分改造好的廠房里試制出878廠[敏感詞]批TTL型與非門電路。當時所加工的硅片為不規(guī)則的小圓片，直徑為30多毫米。

 

到1970年10月，廠房改造及設備調試工作全部完成，開始全面投產(chǎn)。四季度廠里組織大干，決心拿下20萬只固體電路芯片。當時廠領導和我吃在廠里，睡在廠里，和車間工人、技術人員一起干。1971年廠里組織上陶瓷外殼，為全年完成50萬塊固體電路成品打下基礎。由三車間承擔生產(chǎn)陶瓷外殼的任務，從外廠買來陶瓷底片和環(huán)片，自行制作玻璃側環(huán)，加上機加車間自制模具沖出的引線框架，燒結成陶瓷底殼。

 

全廠各車間安排情況如下：原教學樓二層三層是一車間，搞數(shù)字電路，研制TTL型數(shù)字電路，一層則是搞磨片拋光和外延，屬六車間，并搞制版；原實驗樓二層是二車間，研制線性電路（現(xiàn)在稱模擬電路）。后來又把一車間一分為二：二層一車間生產(chǎn)TTL中速電路，三層為九車間，開始研制抗飽和型肖特基TTL（即S-TTL）高速電路。又在原實驗樓一層成立八車間，研制生產(chǎn)固體電路測試儀器。

 

在廠區(qū)其他部位有三車間，搞材料和外殼，包括自己生產(chǎn)四氯化硅和硅烷。生產(chǎn)硅烷很危險，它一遇見空氣就要燃燒，乃至爆炸。有一次所產(chǎn)生的氣體快要從塑料管里跑出來。這時候操作的年輕工人歐新黔硬是用嘴把管子里氣體吹回去，這才避免了一場事故。為此她被選為學習毛主席著作的積極分子。全廠動力部門為五車間，機械加工為四車間，負責開模子、沖零件和自制一部分設備。七車間則是后來組建的MOS電路車間，為其專門新建了小凈化廠房，其光刻間頭一次采用了垂直層流結構，開始把潔凈技術引入半導體集成電路生產(chǎn)上來。后來又單獨成立封裝車間，為十車間，位于原實驗樓三層。當時878廠采用IDM模式，即集成器件制造模式，“麻雀雖小，五臟俱全”，自行設計電路、制版、加工芯片，直至封裝測試，最后打印包裝，連特種材料和外殼都由自己生產(chǎn)。

 

1972年春節(jié)前后，四機部在北京東四旅館召開集成電路座談會。會上提到由于當時國內(nèi)生產(chǎn)的集成電路質量不好，影響到電子計算機整機調不出來。我參加會議后回廠組織質量調查，從廠內(nèi)到廠外，大家共同總結出造成集成電路質量差的原因是四個字：“臟、虛、傷、漏”，即骯臟、虛焊、劃傷和漏氣。然后針對所存在的問題一個一個分別采取相應的改進措施。之前，我在1971年參加秋季廣交會時與日本富士通公司及德國西門子公司進行技術交流座談中得知，熱壓焊壓點抗拉力應不小于2克，這時就要求車間組織熱壓工人經(jīng)過練兵全部達到2克以上拉力，以防止虛焊。又學習上海兄弟廠的鏡檢（顯微鏡檢查）辦法，提高芯片表面質量。還組織有關人員試驗改變內(nèi)涂料以提高封裝質量。同時，和技術人員一起對構成電路的元器件（電阻、二極管、三極管）進行不同設計的試驗，摸索各元器件性能對門電路高低溫性能的影響，從而進行電路設計的改進。然后組織生產(chǎn)了一批改進后的中速電路提供給近鄰738廠試制出DJS153型電子計算機，經(jīng)廣交會和出國展覽，證明質量提高后的集成電路可調出小型電子計算機。當時位于北京昌平、號稱“200號”的北京大學電子儀器廠正在研制大型電子計算機，采用的集成電路就是878廠生產(chǎn)的TTL中速電路和S-TTL高速電路。在研制S-TTL高速電路時，技術員方勝曾去北京大學請教物理系從英國回來的黃昆教授。起初也由于集成電路可靠性不高，整機調試工作遇到困難。為此，878廠由廠黨委書記曹良親自帶領我們學習隊伍下江南，去上海向同行工廠參觀學習。曹書記原是北無校黨委書記，抗戰(zhàn)期間就參加八路軍，在對敵作戰(zhàn)中負傷，一只眼睛失明。我們從上?；氐奖本┖鬀Q定“退倒從來”，重新生產(chǎn)一批質量改進后的中速和高速電路供給北京大學電子儀器廠，從而使北京大學電子儀器廠在1972年研制成功我國[敏感詞]臺100萬次大型電子計算機。這些事實才扭轉了“集成電路不如晶體管，晶體管不如電子管”那種“一代不如一代”的局面。

 

建廠初期，處于文化大革命早期，工廠組織機構還是革命委員會形式，領導人是革委會主任。下設政工組、生產(chǎn)組、行政組、基建組和后勤組，后來生產(chǎn)組改為生產(chǎn)技術組。之后才恢復工廠建制，廠領導人為廠長，[敏感詞]任廠長是鄺少凡，而梁振中任副廠長。下設各個科室，生產(chǎn)技術組改為生產(chǎn)技術科。隨著工廠業(yè)務的擴大，后來到1973年5月又把生產(chǎn)技術科一分為二，分成生產(chǎn)科和技術科。任命蔣正華為技術科長，任命我為副科長，蔣正華原來負責基建組，在廠房改建完成后調到生產(chǎn)技術組，后又改為生產(chǎn)技術科。自技術科成立之后幾年里，一直由他和我領導全廠技術管理工作。

 

1976年7月27日878廠在廠里召開產(chǎn)品設計定型會，邀請全國各地用戶前來參加，鑒定雙極型中速和高速數(shù)字電路，以及線性電路。原計劃開兩天會, 但不幸28日清晨發(fā)生唐山大地震，第二天會議停開。

 

1978年5月，蔣正華提任副廠長，我接任技術科長。一年半后，到1979年11月又提我和孫義芳擔任副總工程師，他原是北無校老師。我負責工藝和設計，他負責測試和設備。

這樣，經(jīng)過10年建設，878廠集成電路試制和生產(chǎn)工作進入全面發(fā)展階段，國內(nèi)[敏感詞]家集成電路專業(yè)化工廠建成，陸續(xù)為國內(nèi)[敏感詞]和各工業(yè)部門提供愈來愈多的各類集成電路。

 

圖六、2英寸線、3英寸線國內(nèi)[敏感詞]家單位：北京東光電工廠（878廠）

 

那時候，上海儀表局已將上海元件五廠五車間搬遷到漕河涇建成了上海無線電十九廠（簡稱上無十九廠），也是集成電路專業(yè)化工廠，專注生產(chǎn)雙極型數(shù)字電路。在計劃經(jīng)濟年代，上海上無十九廠和北京878廠被業(yè)界稱為“南北兩霸”。那個年代國家實行計劃經(jīng)濟，每年春天和秋天召開全國電子元器件訂貨會議，878廠生產(chǎn)的集成電路是最緊俏的產(chǎn)品之一，訂貨桌前總是排成長龍，產(chǎn)品供不應求，盛況持續(xù)10多年。

 

878廠人員組成，在建廠初期首先是四機部明確由774廠三室抽調的一部分技術人員，來到北無校后加上該校的老師和工人，以及籌備組招來的年輕工人。此外，還有一部分公安部實驗工廠轉來的員工，以及當時由國家分配來的1967至1969年畢業(yè)的大學生。因此，878廠早期主要技術人員為歷年畢業(yè)的清華大學、北京大學、成都電訊工程學院、西北電訊工程學院、南開大學和北京無線電工業(yè)學校、南京無線電工業(yè)學校的畢業(yè)生。他們分布在各個車間和技術科，其中以清華大學畢業(yè)生人數(shù)最多，有20余人，曾在878廠大門口合影留念，參見圖七。

 

圖七、878廠的清華大學畢業(yè)生

自左至右：1朱貽瑋，2劉洪昆，3梁昌銳，9陸耀庭，10鄭敏政，14余慶長

仲進才等5人未入照

 

好幾個車間的技術骨干都是清華畢業(yè)的，如一車間技術副主任余慶長是1967年畢業(yè)，六車間主任劉洪昆是1965年畢業(yè)（北無校老師），七車間副主任仲進才是1967年畢業(yè)，九車間技術副主任鄭敏政是1969年畢業(yè)，十車間技術副主任梁昌銳是1961年畢業(yè)（北無校老師）。一車間主任則由北京大學1968年畢業(yè)的楊學明擔任。為了加強878廠的力量，部里于1974年又從774廠抽調108名技術人員和工人到878廠工作, 領頭人是白學光，他是北無校1958年畢業(yè)生，我剛到774廠參加工作時，他在十車間高頻晶體管工段任工段長。調來人員中有南京工學院、浙江大學、成都電訊工程學院等校畢業(yè)的技術人員，以及一批1958年就參加工作的老工人。就是依靠建廠初期就來的一批技術人員，加上這一次增加的技術人員，支撐著878廠從建廠到興旺時期開發(fā)新工藝、研制新產(chǎn)品和提高產(chǎn)品質量工作，使878廠成為20世紀70年代我國重要的集成電路生產(chǎn)企業(yè)，為各工業(yè)部所屬廠所和中國科學院有關研究所各類電子整機配套集成電路作出了不可磨滅的歷史性貢獻。

 

以前電路設計和工藝都由各車間內(nèi)部技術人員承擔。為了加強開發(fā)新產(chǎn)品力量、加速雙極型中規(guī)模集成電路的設計進程，后來決定在技術科里成立設計組，從一車間抽調一位有經(jīng)驗的老技術員擔任組長，并設法調來一位清華大學半導體專業(yè)畢業(yè)的研究生來設計組工作。安排一批恢復高考后[敏感詞]屆大學畢業(yè)生到設計組。設計組培養(yǎng)出好幾位有相當水平的電路設計人才，其中有兩位離開878廠后，經(jīng)過在國內(nèi)和海外工作磨練逐漸成長為集成電路設計公司和設計服務公司的領導人：屈祥生和谷建余。

 

878廠還為我國集成電路標準化制訂工作作出了貢獻。四機部四所為我國電子行業(yè)標準化研究所，負責制訂各種電子元器件和電子整機的標準。當年878廠為集成電路標準化委員會數(shù)字電路分會主任委員單位，所制訂的標準還獲得四機部和國家標準總局的嘉獎。1982年由沈陽47所鄭崇偉帶隊，我和四所蔡仁明三人一起參加了在英國倫敦舉行的國際電工委員會舉辦的半導體和集成電路行業(yè)國際標準化會議。會后還參觀了3家英國集成電路公司。此外，878廠和上無十九廠等廠家還協(xié)助四機部財務司在制訂集成電路價格上發(fā)揮過作用。當年我和廠里財會科周子學曾參加四機部在南昌舉行的電子產(chǎn)品訂價會議。

 

878廠還為支持兄弟企業(yè)培訓人才和接待大學在校學生實習作出貢獻。記得李典舉曾經(jīng)由部里調到北京市工作，那時他建議北京市半導體器件三廠上CMOS電路。當時878廠還在研制PMOS和NMOS電路階段。他聯(lián)系安排器件三廠技術人員和工人到878廠MOS電路車間進行實習。878廠還不止一次地接待清華大學等大專院校學生來廠實習。清華大學半導體專業(yè)陳天鑫教授曾帶領學生來878廠新工藝組一起開展表面鈍化工藝試驗，對比幾種鈍化工藝的效果。

 

早在1973年9月，在中日恢復邦交一周年之際，中國派出電子工業(yè)考察團訪問日本。由中國科學院半導體研究所王守武任團長，四機部李德廣任副團長。全團共計14人，其中研究單位7人，生產(chǎn)系統(tǒng)7人。來自研究所的還有中科院半導體所馬俊如、中科院上海冶金所劉振元、南京55所林金庭、石家莊13所金圣東（兼翻譯）、臨潼771所馬慶魁和航天部九院楊禮和，生產(chǎn)系統(tǒng)還有四機部李會昌、878廠陸耀庭和朱貽瑋、700廠畢紹剛、甘肅設備廠安增琪和第十設計院韋蔭輝。參見圖八。

 

圖八、1973年赴日考察團

照片自右數(shù)起：2朱貽瑋，5陸耀庭，11李會昌，14王守武，15李德廣

 

考察團參觀訪問了日本8家集成電路制造企業(yè)：日立、東芝、日本電氣、松下、三菱、富士通、夏普和沖電氣，以及半導體設備和測試儀器制造公司、材料生產(chǎn)公司、制版公司和潔凈廠房設計單位。當時日本已經(jīng)采用3英寸硅圓片實行規(guī)?；笊a(chǎn)，后部封裝已經(jīng)采用單機自動化生產(chǎn)。在日本考察期間，全體團員曾對要否從國外引進技術展開討論，部分團員認為：為了加快趕上國外先進水平有必要引進技術，另一部分則認為只要引進工藝設備，技術可以自行開發(fā)。當時日本電氣公司（NEC）表示可以轉讓3英寸線全線設備和技術，并報出價格。有三種技術：雙極型數(shù)字電路、雙極型線性電路和MOS電路（當時還是PMOS和NMOS電路）。一種技術和設備3000萬美元，兩種技術和設備4000萬美元，三種技術和設備5000萬美元?；貒?，全體團員向[敏感詞]科委錢學森作了匯報。由于當時還處在文化大革命期間，四機部大院里有一位第十設計院干部貼出大字報，當時稱為“蝸牛事件”，批判部領導從國外引進是“洋奴哲學，爬行主義”。加上那時候國家缺乏資金，部里為878廠引進項目準備的資金只有1500萬美元。因此丟失了從NEC公司全線引進設備和技術的機會。如果當年能引進NEC公司技術，中國大陸發(fā)展集成電路的速度會加快不少，那時候臺灣工研院電子所還沒有從美國RCA公司引進鋁柵CMOS技術。我們考察回來后寫出考察報告，印刷后報有關單位，并且在北京和江南地區(qū)作了幾次大會匯報，向國內(nèi)同行們介紹了日本發(fā)展集成電路的狀況，使當時還處于封閉狀況下的國內(nèi)同行對國外發(fā)展集成電路狀況有了比較詳細和深入的了解。

 

三、878廠、774廠、器件二廠發(fā)展階段

 

在四機部建立878廠之后，在878廠發(fā)展同時，774廠并沒有放棄集成電路，而且北京市也在酒仙橋地區(qū)西八間房把北京市電機學校改為北京市半導體器件二廠（簡稱器件二廠），在生產(chǎn)晶體管之外，也發(fā)展集成電路。這樣，在上世紀70～80年代酒仙橋地區(qū)形成了三家生產(chǎn)集成電路企業(yè)的局面。這一時期三家企業(yè)都有比較大的發(fā)展，形成你追我趕的形勢，也就是比較興旺發(fā)達的時期。

 

878廠發(fā)展情況：

在一車間生產(chǎn)雙極型數(shù)字電路、二車間生產(chǎn)雙極型線性電路之后，當國內(nèi)研究單位（大學和研究所）開始研究MOS（金屬氧化物半導體）電路之時，878廠新建了小凈化廠房也開始研制MOS電路，開始搞的是PMOS和NMOS電路。這個小凈化廠房是由四機部第十設計院設計的，它是中國半導體企業(yè)頭一個試用空氣凈化技術來建造半導體車間，光刻間采用垂直層流。以前所用的硅片開始時為小方片，后來都改為不規(guī)則的小圓片，直徑為30幾毫米。四機部組織國內(nèi)半導體專用設備制造單位為878廠小凈化車間配套2英寸（50毫米）試制線工藝設備，這是國內(nèi)[敏感詞]次嘗試組織全國設備廠為半導體廠全線配套制造集成電路工藝設備。位于774廠后面的700廠就研制了用于2英寸硅片的程控雙管擴散爐供給小凈化車間試用。878廠在國內(nèi)[敏感詞]采用2英寸線研制出三片式NMOS四位微處理[敏感詞]規(guī)模集成電路（簡稱四位機電路）。當時電路的線路由部里組織浙江溫州、安徽合肥和湖南邵陽三家整機單位出人共同參與設計，版圖則由878廠七車間技術人員設計。

 

1978年之后，經(jīng)過全廠組織技術攻關，中速TTL電路和高速S-TTL電路由部標提升到靠美國得克薩斯公司74和74S系列標準。經(jīng)過電路改進設計，工藝采用薄外延、淺結新工藝，將中速電路和高速電路首先各有一個品種達到設計定型。然后生產(chǎn)出一批參數(shù)全部達到得克薩斯標準的中、小規(guī)模集成電路提供給改進后的DJS130型電子計算機。而且，TTL車間在技術科產(chǎn)品設計組參與下，大力開發(fā)中規(guī)模集成電路，以滿足整機用戶新的需求。因此878廠兩次獲得部里科技成果獎：1981年2月獲得部級優(yōu)秀科技成果獎，1982年12月獲得部級科技成果獎一等獎。之后又研制了低功耗肖特基電路，即LS-TTL型電路，也形成系列，并投入生產(chǎn)。

 

與此同時，在使用扁平型陶瓷外殼之后，878廠開始研究生產(chǎn)雙列直插式（DIP）封裝，有塑料封裝，使用環(huán)氧樹脂和硅酮兩種材料；還有陶瓷封裝，有黑陶瓷低熔點玻璃式和白陶瓷金屬式兩種。陶瓷封裝為氣密性封裝，使用核質譜檢漏儀進行檢漏，以滿足軍用電子整機使用要求。

 

在開發(fā)新產(chǎn)品同時，廠里根據(jù)[敏感詞]使用單位的要求，通過各種試驗，采取各種措施，拓寬TTL電路使用工作溫度范圍，生產(chǎn)了Ⅱ類電路，工作溫度范圍為：－40～＋85°C，ⅠA類電路，工作溫度范圍為：－55～＋85°C，乃至Ⅰ類電路，工作溫度范圍達到－55～＋125°C。而一般民用電路的工作溫度范圍是－10～＋70°C，為Ⅲ類電路。當年為滿足武漢710廠和寶雞769廠坦克電臺野外工作的要求，起初提供Ⅱ類中速電路，后來提供ⅠA類電路。之后，為滿足七機部航天和軍用整機的要求，又專門生產(chǎn)“七?！彪娐?，當時電路質量考核執(zhí)行美國883軍用標準，之后又提高為38510標準。為了向客戶提供集成電路可靠性數(shù)據(jù)，我們還提供了試驗電路，在中國科學院原子能研究所做長期高溫帶電老化試驗，試驗結果表明878廠生產(chǎn)的集成電路可靠性達到10的負7次方的水平，這在當年同行中首屈一指。

 

為貫徹國務院成都會議精神，[敏感詞]廠要貫徹“軍民結合”的方針。為此，自1979年8月開始，線性電路車間上電視機和錄音機電路。當時電視機電路仿日本三洋公司黑白電視機所采用的日本NEC公司upc系列3塊電路。我記得試制出樣品后送上海無線電四廠試用。當時紹興871廠分廠和韓國三星公司也送去樣品。三家樣品中各有1塊電路滿足要求，三家樣品湊在一起才能配套。當時都對電視機電路沒有了解透，因而沒能形成產(chǎn)量。而錄音機電路則選了當時風靡一時的磚頭式錄音機所用4100系列電路，878廠投產(chǎn)后供用戶大量使用。

在小凈化車間投入使用之后，四機部又決定在878廠興建大凈化廠房。廠房仍由四機部第十設計院設計，但是水電氣仍由774廠動力部門提供，未建獨立的氣站。這是我國[敏感詞]個用于半導體集成電路生產(chǎn)的潔凈廠房，于1980年2月建成驗收，參見圖九。

 

圖九、878廠大凈化廠房

 

1978年6月，四機部決定878廠以拼盤形式從日本和美國引進3英寸工藝設備，形成一條完整的集成電路芯片生產(chǎn)線。當時廠里主要由陸耀庭負責對外談判購買設備，他是清華大學半導體專業(yè)1962年畢業(yè)。四機部半導體處和之后于1980年成立的中國電子器件工業(yè)總公司（簡稱器件總公司）半導體處對878廠從國外引進3英寸芯片生產(chǎn)線長期進行指導和幫助，特別是器件總公司副總工程師李會昌自始至終付出了極大的努力。當時部里為加強集成電路領域工作，人事組織部門要從878廠抽調一名年輕技術干部到部里工作，點名兩人，分別是一車間和九車間技術副主任。蔣正華和我商量結果送九車間技術副主任鄭敏政去部里，他之后長期在部里從事集成電路管理工作。

 

在小凈化車間投入使用，大凈化廠房建設期間,四機部為加快878廠上MOS電路，專門安排位于四川永川的24所于1981年派了一批搞MOS電路的技術人員在所領導帶領下來到878廠協(xié)助小凈化車間和大凈化廠房工作。當年部里還希望878廠能接24所或位于沈陽的47所各自研究開發(fā)的、仿美國莫托洛拉6800系列微處理器電路。為此，我與一位技術員先去沈陽47所調研。到了所里后，剛從47所調至沈陽市擔任市委書記不久的李鐵映聞訊回到所里來，掛起電話打到部里與何華生副部長通話，說878廠朱貽瑋來47所了，希望部里安排878廠接47所的6800系列產(chǎn)品。何部長就在電話里對我說，你們就接47所產(chǎn)品吧！這樣，我倆回廠匯報后就接了47所產(chǎn)品，也沒再去永川24所調研了。接47所6800系列電路后來安排在大凈化廠房內(nèi)流片，而存儲器EPROM品種則安排在小凈化車間流片。

 

為加強878廠的領導力量，四機部之前曾經(jīng)考慮調沈陽47所副所長兼總工程師李鐵映來擔任878廠廠長兼總工程師，后因沈陽市提拔李鐵映擔任市委書記而作罷。后來，當大凈化廠房在[敏感詞]任廠長鄺少凡及其后蔣正華副廠長主抓廠房建設和引進工藝設備基本就緒后，四機部才從石家莊13所把時任副所長兼副總工程師的俞忠鈺調來878廠擔任總工程師職務，以加強878廠技術領導力量。俞忠鈺是774廠朱恩均北大的同學，正式調來前曾托朱恩均打電話給我，表示愿來878廠工作，征求我們意見。我與蔣正華副廠長商量后都表示歡迎。1982年初部里調俞忠來878廠，當時廠長是郭殿奎，[敏感詞]任廠長鄺少凡已于1980年調去部里籌建中國電子器件工業(yè)總公司了。俞忠鈺來廠之后開始一段時間住在廠里、吃在廠里，整日主抓大凈化廠房內(nèi)3英寸工藝線通線工作。在他具體領導下，在大凈化車間領導干部和全體技術人員及工人們齊心努力下，我國[敏感詞]條3英寸工藝線正式通線，在3英寸線上流通了雙極型線性電路工藝和MOS型數(shù)字電路工藝，其中包括由香港興華公司轉來的鋁柵CMOS五功能電子手表電路。他來廠以后主推上CMOS電路，不僅安排技術科產(chǎn)品設計組成員設計CMOS電路，還要求技術科和TTL車間技術人員也設計CMOS電路，當時主要是小規(guī)模數(shù)字電路。這樣一來，878廠產(chǎn)品系列包括了雙極型數(shù)字電路和線性電路，CMOS型數(shù)字電路，以及NMOS型大規(guī)模集成電路。在大凈化車間流了七車間研發(fā)的NMOS四位微處理器電路和從沈陽47所移轉來的6800系列八位微處理器電路。由于國內(nèi)[敏感詞]條3英寸線流通和一批電路品種投入生產(chǎn)，878廠在1983年獲得電子部科技進步一等獎四項、二等獎一項，在1984年獲得電子部科技進步二等獎三項，在1985年獲得國家科技進步三等獎一項、電子部科技進步二等獎五項。

 

在俞忠鈺來后不久，廠長又換為從774廠調來的陸凎生擔任。但沒過多久，[敏感詞]當政時期，要求廠長年輕化，到了55歲就要換班。在此歷史條件下，上級領導機關又于1984年6月任命俞忠鈺接替陸凎生擔任廠長。他上任之后提七車間搞NMOS大規(guī)模集成電路設計的副主任仲進才擔任總工程師，讓我擔任副廠長，主抓產(chǎn)品應用加強經(jīng)銷業(yè)務。在此之后，我組織技術科、新品科、應用組和標準化組編制了三大厚本產(chǎn)品說明書：雙極型數(shù)字電路、雙極型線性電路和MOS型數(shù)字電路。這三大本說明書標志著878廠興旺時期產(chǎn)品的[敏感詞]成果。

 

廠應用組把四位機電路推廣應用到機床技術改造和數(shù)字化電子秤制造上。1984年9月我代表878廠參加了國家經(jīng)委在南京召開的全國機電一體化技術改造現(xiàn)場會議。時任國家經(jīng)委副主任的朱熔基主持會議，并聽取了各單位經(jīng)驗介紹發(fā)言。我代表878廠在大會上作了匯報發(fā)言，并領取了大會頒發(fā)的獎狀，獎狀上寫道：“積極采用微電子技術更新改造機床取得成績，特此表彰”。878廠還在會上展示了應用開發(fā)項目的實物和圖片，時任電子工業(yè)部（1982年5月成立電子工業(yè)部）副部長的李瑞也到場參觀。參見圖十、圖十一和圖十二。

 

圖十、878廠在全國機電一體化技術改造現(xiàn)場會議上發(fā)言

右2發(fā)言者朱貽瑋，右3朱熔基

 圖十一、878廠在大會上領取獎狀

 

圖十二、電子部李瑞副部長參觀展出實物和照片

右1講解者朱貽瑋，右2李瑞

 

作為國內(nèi)[敏感詞]家2英寸線和3英寸線的878廠鼎盛時期一直持續(xù)至上世紀80年代中期。

1986年6月，電子部調俞忠鈺到中國電子器件工業(yè)總公司，接替要退休的權玉臣擔任總經(jīng)理，并兼總工程師。之后878廠廠長隔不了幾年就換一個。到最后一任雖然年輕，工作也很努力，但已無力挽回局面，一直走下坡路，直至退出集成電路行業(yè)。

 

為什么國家重點培養(yǎng)扶植的[敏感詞]個半導體集成電路專業(yè)化工廠、曾被業(yè)者譽為“北霸天”的878廠后來會衰落下去，一步一步退出歷史舞臺？這一問題始終沒有人深入探討分析原因。在此時此處我想發(fā)表我個人的5點見解，供大家思索參考。

 

首先，雖然878廠是我國2英寸線和3英寸線[敏感詞]家，但在大凈化車間3英寸線通線投產(chǎn)后沒能達到規(guī)模經(jīng)濟的產(chǎn)量。采用多品種小規(guī)模CMOS電路作為主要產(chǎn)品系列沒能構成大量生產(chǎn)的條件。后來曾想接產(chǎn)沙河研究所的5塊彩色電視機電路，雖有市場需求，但因產(chǎn)品本身未過關，沒能接產(chǎn)成功。

 

其次，878廠雖為部里重點發(fā)展單位，但后來缺乏穩(wěn)定的強有力的廠長領導。建廠初期較長時間擔任廠長的鄺少凡在四機部設立中國電子器件工業(yè)總公司時被調去參加組建工作。之后各任廠長干不了幾年就換廠長，這樣只顧短期經(jīng)營，缺乏長期規(guī)劃。記得建廠初期，附近的海軍701廠曾想把廠房和廠地賣給878廠，把他們廠搬到公主墳海軍司令部附近去。但是當時878廠領導缺乏長期考慮而沒買。不像無錫742廠從棉花巷開始，搬至大王基之后，一直發(fā)展到后來組成華晶公司，長期由王洪金擔任廠長和總經(jīng)理，對企業(yè)經(jīng)營長期實行強有力的領導，后來又在四機部及之后電子部持續(xù)大力支持下，使企業(yè)有更大的發(fā)展。

 

第三，計劃經(jīng)濟時代，國營工廠產(chǎn)生利潤全部上繳國家，工廠需要技術改造時要立項申請批準后才能獲到資金予以實施。據(jù)878廠財務科長說，計劃經(jīng)濟年代878廠上繳利潤曾達當初總投資額的8倍。但在改革開放后，上級單位中國電子器件工業(yè)總公司把大量資金投到深圳去了。而且，當四機部下決心上電視機時，廣播電視處選擇配套的集成電路生產(chǎn)點時，選中了位于無錫大運河旁、風景優(yōu)美的錫山公園附近的742廠。從此部資金支持重點轉向無錫742廠。之后878廠很難再取得部里資金支持。

 

第四，集成電路芯片業(yè)不進則退。878廠在投產(chǎn)3英寸線后，器件總公司曾從美國仙童公司引進一條4英寸二手設備線，三分之二給了甘肅871廠，三分之一給了878廠。但是當初878廠領導沒有及時抓住搞技術改造，后來北京市領導決定組建北京燕東微電子聯(lián)合公司時，878廠把4英寸設備投到燕東公司去了。這對878廠而言，失去了繼續(xù)前進的機會。

 

第五，集成電路企業(yè)要長盛不衰，就要不斷開發(fā)新工藝、研制新產(chǎn)品。878廠在技術科內(nèi)曾設有新工藝組，也曾成立新品科，但是沒有持之以恒。在由雙極型電路往MOS型電路發(fā)展過程中，曾欲接產(chǎn)沈陽47所6800系列產(chǎn)品和EPROM產(chǎn)品，但從47所轉來的6800系列各產(chǎn)品，除6850這一接口電路外，都沒有全面達到性能參數(shù)指標，而不能定型投產(chǎn)；EPROM在小凈化車間投片多批，參數(shù)都達不到指標，在財會科周子學提議下停止再投片。工廠沒能得到國內(nèi)研究所的有效支持也是因素之一。

 

到后期，878廠雙極型線性電路和MOS型數(shù)字電路都缺乏市場競爭力，大規(guī)模集成電路也沒有沖上去，主要還是靠原來的雙極型TTL軍品數(shù)字電路維持好多年。最后，在國內(nèi)外激烈的市場競爭中878廠逐漸衰退下去，乃至退出集成電路行列。

 

作為國內(nèi)集成電路[敏感詞]個專業(yè)化工廠雖然退出了歷史舞臺，但是她為電子工業(yè)部和國家計委輸送了好幾位干部，后來成為管理國家集成電路行業(yè)的領導干部。在電子部里鄭敏政擔任了微電子司副司長；后來也去部里工作的劉洪昆擔任了科技司司長；俞忠鈺從器件總公司轉到部里后任微電子器件局局長，后又升至總工程師；周子學也早已調到部里，機關改制到信息產(chǎn)業(yè)部時擔任了經(jīng)濟體制改革與經(jīng)濟運行司司長，后來又擔任了之后成立的工業(yè)和信息化部財務司司長、總經(jīng)濟師；當年入廠的年輕工人歐新黔（后來為工農(nóng)兵大學生）經(jīng)過國家經(jīng)貿(mào)委后轉到國家計委擔任了副主任。俞忠鈺后來又擔任了中國半導體行業(yè)協(xié)會理事長，周子學在2015年3月出任中芯國際公司董事長，然后又兼任中國半導體行業(yè)協(xié)會理事長。他（她）們在各自的領導崗位上為我國集成電路行業(yè)的發(fā)展發(fā)揮了不小的作用，周子學則還在現(xiàn)今崗位上繼續(xù)發(fā)揮作用。盡管從878廠調出這么多位到國家領導機關工作，后來都還承擔了相當重要的領導職務，但是卻對老廠878廠走向衰退恰無能為力，這不能不說是歷史可悲之處。

 

774廠發(fā)展情況：

 

四機部在北京建設[敏感詞]個集成電路專業(yè)化工廠878廠之后，774廠并沒有因此放棄集成電路這一新生的產(chǎn)品門類。再加上在文化大革命軍管會期間，在全國大辦電子工業(yè)到處建集成電路工廠的形勢下，總廠在前區(qū)樓房里成立了集成電路車間，把原來試驗室固體電路大組留下的技術人員調過去，繼續(xù)研制和生產(chǎn)雙極型數(shù)字電路；同時把原來生產(chǎn)鍺高頻管的車間改為研制和生產(chǎn)雙極型線性電路車間；還成立了研制微波砷化鎵器件和微波集成電路的車間，研制的產(chǎn)品為[敏感詞]服務。那段時間內(nèi)，廠里一共三個單位熱熱鬧鬧地搞了好幾年，但是由于資金不足，形成不了規(guī)模生產(chǎn)，產(chǎn)品缺乏市場競爭力，三個車間都陸續(xù)下馬了。之后又成立一個新品試驗室，主要做微波晶體管和微波集成電路，同樣由于形成不了規(guī)模生產(chǎn)，維持時間也不長。后來又在后廠區(qū)建了一個821廠房，也稱為小凈化車間，從事硅晶體管的生產(chǎn)，但規(guī)模不大。

 

上世紀70年代末，國家為了加強[敏感詞]，打算從以色列引進坦克電臺，當時稱為“三七”工程。由四機部組織對外談判。原來在清華大學與我同班同學秦鵬1964年畢業(yè)后也分到774廠工作，但沒幾年調出廠，經(jīng)過幾個單位工作后，于1979年由六所調入四機部四局半導體處, 當時處長是李會昌。秦鵬正趕上參加對外談判。為坦克電臺要配套大規(guī)模集成電路，可供選擇的配套工廠有北京774廠和878廠、無錫742廠，以及成都970廠。當初大[敏感詞]工辦為此還作了調查，他們來878廠調研時我接待了他們。秦鵬考慮到放在北京比較方便，又由于他對母廠774廠的情感，從一開始便推薦了774廠作為承擔單位，并讓他們的技術人員參加技術談判。這樣，600多萬美元的大型集成電路引進生產(chǎn)線項目在處、局獲得通過后落實到774廠。后來又加了一個幾百萬美元的彩色電視配套電路項目，兩項合計774廠獲得了1000多萬美元的發(fā)展基金。這是部里為了給這個老廠一次技術改造機會，為了幫助老企業(yè)增加活力。為此，774廠把原來玻璃分廠的車間改造成為半導體凈化車間，稱作811廠房。1980年后也從國外引進了一條拼盤3英寸線工藝設備，目標是為“三七”工程配套9塊專用大規(guī)模集成電路，為MOS和CMOS工藝。當時配套的厚膜電路則安排在大山子798廠內(nèi)。為了加快研制9塊專用大規(guī)模集成電路，在引進生產(chǎn)線尚未開工時，先到878廠小凈化車間生產(chǎn)線上試制，并出了樣品。到1986年移植到774廠引進生產(chǎn)線上投片，很快完成了樣品的研制。但是，后來由于“三七”工程總體整機計劃發(fā)生變化，沒有執(zhí)行下去，774廠工藝設備引進后并沒有再生產(chǎn)配套的專用大規(guī)模集成電路。在此情況下，廠里曾經(jīng)設計了6片式黑白電視機電路，試制出了樣品，但是也沒有形成規(guī)模生產(chǎn)。由于沒有找到合適的可生產(chǎn)的集成電路產(chǎn)品，加上引進生產(chǎn)線運轉費用很高，不能維持生產(chǎn)線的運轉，在此情況下，總廠只好決定把811廠房改回來生產(chǎn)晶體管。曾經(jīng)與香港4D公司合作，要生產(chǎn)npn和pnp晶體管，做了工藝試驗，但沒有等產(chǎn)品投入批量生產(chǎn)，由于虧損付不出廠內(nèi)動力費用，動力部門最后停止供應水電氣，工藝線從此停止運轉。那時候王東升剛接任廠長，總廠也處于多年虧損之中，沒有財力支撐811凈化廠房的運行。這樣，部里對774廠這次技術改造項目的重大投資打水漂。從此，774廠退出集成電路行列。

 

之后北京電子管廠在連續(xù)虧損7年后，年輕廠長王東生帶領員工自籌650萬元種子基金進行股份制改造，創(chuàng)辦北京東方電子集團股份有限公司，后改名為京東方科技集團股份有限公司（簡稱京東方），企業(yè)經(jīng)過優(yōu)化組合，轉向發(fā)展液晶顯示屏（液晶面板）方向，經(jīng)過20多年努力奮斗，成長為一家極具競爭力的全球顯示產(chǎn)業(yè)領先企業(yè)。企業(yè)轉型成功了，但這是后話了。

 

器件二廠發(fā)展情況：

 

北京市半導體器件二廠所在地原來是北京市電機學校，是屬于北京市的一所中等?？茖W校，位于京密路旁萬紅西街上, 離774廠不遠。在文化大革命中全國大上電子工業(yè)期間，1968年下半年北京市把電機學校也改為半導體工廠。北京市把位于沙河的北京市無線電器件研究所（簡稱沙河研究所）的兩條半導體工藝線搬到器件二廠來，以投入生產(chǎn)。1969年1月6日從沙河所調來一大批技術人員，與電機學校老師們共同建設器件二廠。一條線做平面型晶體管，另一條線上集成電路。除兩條線上技術人員之外，調來的還包括硅單晶片磨片和外延工藝、四氯化硅制備工藝、測試儀器研制技術人員。硅平面型晶體管先投產(chǎn)，產(chǎn)量很大，向全國供貨。北京市儀表局還在器件二廠開過現(xiàn)場會。集成電路工藝開始用介質隔離，后來也改為PN結隔離。開始時研制DTL型電路，后來也很快過渡到TTL型電路。從小規(guī)模單與非門電路做起，后來主要配合清華大學計算機系為其配套NOVA機用一整套數(shù)字集成電路，共15個品種，除了小規(guī)模集成電路外，還有幾個中規(guī)模集成電路，如4D觸發(fā)器、計數(shù)器和校正電路等。當時由部里組織全國同行和用戶召開鑒定會，整機定型取名為DJS-130型電子計算機，由清華大學轉到北京市計算機三廠批量生產(chǎn)，作為小型通用電子計算機向全國供貨。器件二廠生產(chǎn)的集成電路可靠性達到一定水平，除向北京市計算機三廠供貨外，也向國內(nèi)其它計算機廠家供應配套電路。當時把這些編入各大學計算機專業(yè)教材，對我國計算機應用的普及起到歷史性作用。該計算機獲得全國[敏感詞]屆科技大會獎，器件二廠配套集成電路獲得二等獎。除了為小型計算機配套外，也為二機部、七機部、六機部和五機部的科研和生產(chǎn)單位供應集成電路，因為當時凡上程控或數(shù)字控制的系統(tǒng)都離不開數(shù)字電路。為[敏感詞]單位配套的集成電路還采用美軍883檢驗標準進行考核。

 

中國在1978年底開始改革開放之后，美國英特爾公司微處理器從原來1974年的4位4040、8位8080快速往前發(fā)展。1982年推出16位80286，1985年推出32位80386，1989年又推出新的32位80486。到1993年更推出新一代的奔騰型，本該叫80586，因為當時規(guī)定不能用數(shù)字申請專利而選名“奔騰”。這樣一來，DJS-130型小型計算機就逐漸退出歷史舞臺。為之配套的集成電路就失去主要大用戶，器件二廠所能生產(chǎn)的中小規(guī)模數(shù)字電路產(chǎn)量很快下跌，其它用戶的需求量不足以維持工廠正常運行。到了上世紀80年代中期企業(yè)就面臨困境。

為了求得進一步發(fā)展，早在1981年就開始籌劃建設凈化廠房，李優(yōu)仁從1982年開始接手負責建廠房工作，并于1983年3月組織電子部第十設計院各專業(yè)工程師（包括半導體工藝、廠房結構、土建、給排水、超純水、電力供給、氮氧氫超純氣體、系統(tǒng)及空調等專業(yè)）去美國硅谷考察參觀半導體生產(chǎn)廠房，回來后設計了建筑面積達5000平米的凈化廠房，這相當于美國上世紀80年代中小半導體廠房水平。在美國考察時，韓國三星公司也在美國談引進相關設備，那時候和三星公司同時起步。當年比上海貝嶺公司動手還早，他們要蓋廠房時曾來此參觀過。這一廠房不僅受到北京市重視，電子部也很關心，李優(yōu)仁記得，當年曾接待過部里李會昌陪同江澤民部長來看過。但由于后續(xù)資金跟不上，缺乏資金，蓋了廠房殼子就停步不前了。

 

四、籌建燕東聯(lián)合公司階段

 

1982年5月4日國家決定成立電子工業(yè)部。在1985年期間，國家進行體制改革工作，電子部將170個直屬電子工廠下放給各省、直轄市，只留下為電視機配套的無錫742廠和咸陽4400廠，前者生產(chǎn)電視機集成電路，后者生產(chǎn)顯像管。北京774廠、878廠和另外10個代號廠都下放到北京市。為此，北京市為領導管理這12個廠設立了北京市電子工業(yè)辦公室，部里派陳文華到北京市電子辦擔任副主任。當時北京市原來市屬電子企業(yè)分屬北京市計算機工業(yè)總公司和北京市廣播電視工業(yè)總公司領導。在此背景下，國家成立了國家電子振興領導小組，并設了辦公室，以振興我國電子信息工業(yè)。北京地區(qū)也在1985年年底成立了北京電子振興領導小組，由陳希同任組長，韓伯平和陸禹澄（時任市委常委，后任副市長）任副組長，國家科委、教委、電子部、郵電部和中國科學院都有一位領導擔任副組長，并設立了辦公室，以振興北京地區(qū)電子信息工業(yè)。國務院任命陸首群擔任北京電子振興領導小組辦公室主任，在北京地區(qū)抽調一批工程技術干部到辦公室分管計算機行業(yè)、通信行業(yè)、集成電路行業(yè)和功率器件行業(yè)，先后從沙河研究所調蔣翔六與我到辦公室一起分管北京地區(qū)集成電路行業(yè)工作。北京電子振興辦公室成員見圖十三。

 

圖十三、北京電子振興辦成員

[敏感詞]排左3朱貽瑋，左5陸首群，左7蔣翔六，第二排左7華平瀾

 

電子部關于集成電路“七五”行業(yè)規(guī)劃（1986～1990年），是要在上海和北京重點發(fā)展集成電路。我到任后首先對北京地區(qū)集成電路行業(yè)的發(fā)展現(xiàn)狀作了調查。在調查的基礎上提出了加速發(fā)展北京集成電路行業(yè)的大、中、小三種方案，供市領導選擇決策。大方案是投資4億元人民幣建設一條全新的5英寸（125mm）2～3微米大規(guī)模集成電路芯片生產(chǎn)線，年產(chǎn)6000萬塊集成電路，由774廠和878廠共同出人于1986年3月編寫了初步方案。當時希望在國家出資2億元的情況下，電子部和北京市各出1億元。但是，我們在向國家電子振興領導小組辦公室匯報該項目的初步方案后，由于國家電子振興領導小組辦公室沒能從國家計委得到2億元專項基金，此計劃就宣告落空。中方案是北京市自行籌資2億元，產(chǎn)能規(guī)模小些，也因無資金來源而作罷。在此情況下, 就只能采用小方案：利用878廠已經(jīng)引進的4英寸仙童線一部分二手設備，以及北京市半導體器件二廠在建、而未建完的5000平方米凈化廠房，兩廠聯(lián)合組建新的公司，建設4英寸芯片生產(chǎn)線。在市領導決定后，878廠和器件二廠兩廠也表示同意，隨后由兩廠派出首批人員開始籌建。當時市電子辦副主任陳文華和我在器件二廠召集兩廠籌建人員開會討論為聯(lián)合公司取名，在征集的十多個候選名稱中選了“燕東”作為聯(lián)合公司的名字，取名為“北京燕東微電子聯(lián)合公司”， 因為“燕”字表示位于北京附近的燕山山脈，古代又為燕國所在地，“東”表示在東部，“燕東”則表示在北京東郊。報到北京市領導后表示同意此名。這樣，在1987年6月正式成立了北京燕東微電子聯(lián)合公司, 兩廠派出的籌建人員就在器件二廠廠區(qū)內(nèi)辦公籌建4英寸線。市里領導考慮后，決定調878廠黨委書記楊富德?lián)窝鄸|公司總經(jīng)理，并由器件二廠副廠長李優(yōu)仁擔任黨組織書記兼副總經(jīng)理，他從1982年起就開始負責籌建5000平方米凈化廠房工作。

 

國家“七五”集成電路行業(yè)發(fā)展規(guī)劃建設南北兩個微電子基地，北方微電子基地就在北京，并進一步明確南方在上海要建貝嶺公司，北方在北京要建燕東公司，各建一條4英寸芯片生產(chǎn)線。上海貝嶺公司為中外合資公司，總投資5000萬美元，總經(jīng)理是原上無十四廠廠長張惠泉。 因此，張惠泉和楊富德經(jīng)常聯(lián)系，后來他倆成為摯友。貝嶺是在上海漕河涇地區(qū)的新建項目，新建凈化廠房、引進全新工藝設備；燕東則是在北京器件二廠院內(nèi)的技術改造項目，由國家經(jīng)委批準立項，但總投資規(guī)模僅為5000萬元人民幣。

 

楊富德到任之后，要我也去燕東，我義不容辭地同意了，就在1987年9月底離開878廠到燕東公司報到上班了。他要我擔任副總經(jīng)理負責籌集資金，因為我與電子部和北京市的人員熟悉，同時還要我兼任總工程師。我回答說：只能擔任其中一職，因兩者工作性質截然不同，一要往外跑資金，另一則在內(nèi)管技術。他認為找到資金才能建燕東，就讓我擔任前職，并讓我推薦總工程師候選人。我先推薦774廠的許同玉，他是清華4字班的，比我晚一屆，1964年畢業(yè)。但當時774廠領導不放他。后推薦878廠的劉湘?zhèn)悾浅呻?964年畢業(yè)，他隨后報到任職。因為他倆是我早年在774廠三室任固體電路大組長時分管硼、磷擴散工藝的同事。來自器件二廠的李優(yōu)仁擔任黨組織書記兼副總經(jīng)理，龔凱擔任副總工程師。燕東公司領導班子到齊后，首要任務是尋找資金。當時楊富德和我先去我倆都工作過的老廠774廠找時任廠長求助。但得到的回答是：774廠有821、811兩廠房，878廠有小凈化、大凈化兩廠房，都沒搞上去，老楊、老朱你們才幾十個人，能把集成電路搞上去？在這樣情況下怎么辦呢？鑒于1985年電子部把在北京的12個直屬代號廠都下放到北京市，這樣，我們就先去找北京市領導。時任副市長兼北京電子振興領導小組副組長陸宇澄親自關心燕東公司的建設，給我們指點尋找資金來源，并多次在市里召開專題會議討論燕東4英寸線項目，甚至召集市里各部門到器件二廠院內(nèi)召開現(xiàn)場會議。

 

事有湊巧。當時首都鋼鐵公司董事長周冠五要大力拓展企業(yè)經(jīng)營范圍，在其所屬電子公司總經(jīng)理毛普慶的建議下，要上大型電子計算機、大型電子程控交換機和大規(guī)模集成電路。這正是北京電子振興辦要推動的行業(yè)。為此，電子振興辦派人協(xié)助首鋼走訪了北京市有關企業(yè)。首鋼向北京市提出了一批較好的電子整機和器件企業(yè)名單，想要劃歸首鋼。最后北京市委和市政府下文，劃歸首鋼的只是集成電路行業(yè)4個單位：878廠、器件二廠、沙河研究所和籌建中的燕東公司。之前首鋼曾承諾要出資金為燕東建4英寸芯片線、為878廠擴大IC封裝能力、為沙河所提供研發(fā)資金。但當北京市領導下了文件把上述4個單位劃給首鋼之后，首鋼董事長周冠五在召開4單位全體領導干部會議上宣布，僅是每個月拿出少量錢給4單位員工發(fā)工資而已，根本沒有打算投入建設和研發(fā)資金。進首鋼后反而抽調了4單位里的技術骨干參加與日本NEC公司談判引進5英寸芯片線和封裝線項目。因為NEC公司之前曾參與無錫742廠MOS電路項目談判，但最后無錫與日本東芝公司和德國西門子公司談成引進4英寸和5英寸芯片線項目。經(jīng)國家領導機關介紹，讓日本NEC公司到北京來談MOS電路項目，并讓首鋼出面談判。4單位抽去參與談判的技術干部們出于對國家和北京市的整體利益出發(fā)，幫助首鋼與NEC公司在1990年初談成了合資合同。我也參與了，擔任產(chǎn)品與市場小組組長。談判中間，雙方本來同意在北京東部電子工業(yè)區(qū)內(nèi)器件二廠院子里建5英寸芯片線，但后來首鋼總經(jīng)理趙長白來器件二廠院子看了以后，首鋼領導決定把建線地址改到西邊首鋼附近。由于要在有污染的鋼鐵廠附近蓋潔凈度要求很高的半導體廠房，為此多花了一筆資金用于加強處理空氣和水質。合同執(zhí)行結果是建成了首鋼日電公司6英寸芯片廠，它成為我國[敏感詞]條6英寸線。由于首鋼的食言，不兌現(xiàn)原先的出資承諾，在4單位員工和燕東公司領導班子要求下，北京市領導在一年之后又下文件將上述4單位退出首鋼，回到原系統(tǒng)。當時首鋼通過市里點名要從上述4單位抽調17名技術干部去首鋼，但絕大多數(shù)人不再愿意再去首鋼，包括我在內(nèi)，再困難也寧愿留在原單位。這樣一進一出首鋼，貽誤了燕東兩年時間，出首鋼后燕東又面臨重新尋找資金的局面。

 

出首鋼后，時任器件二廠廠長的余慶長接任燕東公司總經(jīng)理。我繼續(xù)負責找資金。在市領導的授意下，我先后分別去找了市計委、市經(jīng)委、市財政局及其投資公司、市工商銀行，還有其他投資公司。北京市各單位普遍認為: 既然燕東項目是電子部和北京市共建項目，電子部應該先出錢，北京市才跟進投資。于是我去電子部找有關部門。這時候已開始“八五”規(guī)劃之初，部里明確全國僅重點支持5個集成電路重點企業(yè)：無錫華晶、紹興華越、上海貝嶺、上海飛利浦和北京首鋼日電。前倆為部屬國有企業(yè)（華晶是當年未下放的742廠改組發(fā)展而成，華越則是下放甘肅的871廠在紹興設點又成其分廠改名后收回部里），后仨為新建的合資企業(yè)，兩個在上海，一個在北京。燕東排在第6位，但在重點之外。與我熟悉的部里負責投資的財務司領導對我半開玩笑地說：改革開放了，你怎么不去深圳“發(fā)財”，還要在北京建集成電路廠？我摯意要留在北京建燕東4英寸線。最后，部里財務司領導看在我的決心和摯意上，同意出資830萬元人民幣投給燕東。為此要感謝電子部當時的財務司副司長林良友和財務處處長戚正榮，有了他們的支持，才有后來燕東的建成和之后的發(fā)展。在此情況下，北京市財政局及其所屬投資公司和其他單位逐個承諾跟進投資燕東，并與市工商銀行商談申請貸款事項。

 

在資金初步有所著落的情況下，市經(jīng)委和市電子辦組織燕東項目赴美考察團，于1992年年底赴美考察。全團共9人，由時任市電子辦副總工程師華平瀾帶隊，9人成員中包括市經(jīng)委顧玉芳，市電子辦李克功，機電部周勤勇（1988年4月電子部與機械部合并成立機械電子部，簡稱機電部），市工商銀行王處長，和燕東4人：余慶長、朱貽瑋、李顯榮、尚敏強。赴美考察回來后經(jīng)過多種方案選擇，決定與美國BIT公司進行談判，因為該公司有一條完整的4英寸芯片線，流的工藝為雙極型集成電路工藝，決定停線將整線設備出售?？疾鞎r原北京電子振興辦公室的蔣翔六在美國洛杉磯學者交流訪問，在我們赴美考察后他到BIT公司受聘為首席科學家, 幫助BIT公司參與談判。雙方經(jīng)過多次談判，最后于1993年年底簽下合同，將BIT公司一條完整的4英寸線設備賣給燕東公司。

 

但是，資金又出現(xiàn)新問題?；I措資金中包括有銀行貸款部分，原先說好由市工商銀行貸款，考察團中還有該行一位信貸處長參加。而在落實過程中，由于負責電子口的信貸員不同意貸而辦不成，他的理由是當時電子工業(yè)整體效益都不好。為此向市領導匯報后改去市中國銀行聯(lián)系。在市電子辦主任陸首群（這時管下放12個廠的小電子辦與計算機公司、廣播電視公司以及儀器儀表公司合并成立新的大電子辦）、副總工程師華平瀾和我多次去市中國銀行匯報、聯(lián)系后，終于取得他們貸款的承諾。事情辦成后我問負責放貸的范處長原因時，他說：他們考慮放貸對象不是看行業(yè)，而是看要貸款的企業(yè)，更重要的是看企業(yè)負責項目的領導人的素質和作風。

 

在執(zhí)行合同過程中，我于1994年夏天帶隊，共33人前往美國BIT公司進行技術培訓。培訓結束后，BIT公司將全線100多臺設備拆裝運來北京，BIT公司安排主要設備制造廠商負責派人到燕東公司進行設備安裝調試，最后經(jīng)過逐臺驗收合格后才交付燕東使用。此時已進入1995年。

 

就是這樣，燕東公司在[敏感詞]任總經(jīng)理楊富德的領導下，經(jīng)歷了進出首鋼貽誤工程兩年，千辛萬苦地用5年時間才建成凈化廠房。這是楊富德總結774廠和878廠搞半導體和集成電路沒有高標準、高質量水電氣動力保障的經(jīng)驗教訓而采取的重大措施，這就為今后大規(guī)模投產(chǎn)創(chuàng)造了良好條件。我在一次接待臺商前來參觀后，他認為燕東公司凈化廠房和動力設施已達到國際通用標準水平，可以達到月產(chǎn)20000片集成電路硅圓片的程度。燕東公司廠房見圖十四。

圖十四、燕東廠房門口

 

之后，在第二任總經(jīng)理余慶長的領導下，燕東公司又用了5年時間從美國BIT公司引進一條完整的4英寸芯片線，全線設備安裝調試開通后，進行雙極型模擬電路工藝試驗。經(jīng)過燕東公司全體員工腳踏實地的努力奮斗，最終于1996年6月底由國家經(jīng)貿(mào)委（1993年3月重建成立）委托北京市經(jīng)委組織召開燕東公司技術改造項目的驗收大會，驗收會由市經(jīng)委副主任張志明主持。會上邀請了一批北京地區(qū)半導體專家和兄弟單位領導人參加，當時謝小明代表774廠參加了會議。驗收通過之后，當時電子工業(yè)部常務副部長劉劍鋒（1993年3月恢復成立電子工業(yè)部）前來燕東公司現(xiàn)場視察，進凈化車間參觀了工藝線，肯定了燕東項目建設成果。部里同來的還有鄭敏政、關白玉和周子學（也早已從878廠調去部里工作）；北京市經(jīng)委張志明副主任和市電子辦華平瀾等人也來參加。參見圖十五和圖十六。

 

圖十五、劉劍鋒部長等考察燕東。

[敏感詞]排自左至右：1關白玉，2鄭敏政，4劉劍鋒，5張志明，6周子學，7華平瀾，8余慶長

第二排自左至右：1朱貽瑋，3龔凱

 

圖十六、劉部長參觀燕東

前排自左至右：1劉劍鋒，2余慶長，3朱貽瑋

 

燕東公司在籌建時為聯(lián)合公司，由878廠和器件二廠分別以部分4英寸二手設備和在建廠房作為初始投資，其余所投資金來自電子部、北京市有關單位，貸款部分當初主要是向市中國銀行貸款。在整個籌建過程中資金非常困難。最困難時連不到100人的工資都發(fā)不出。不止一次地我到上級單位北京市電子工業(yè)辦公室向主任請求電子辦出錢墊付，才得以留住燕東員工繼續(xù)艱苦奮斗。引進4英寸工藝線后，在進行工藝試驗過程中，企業(yè)沒有營收，靠項目資金維持運行，資金仍然非常困難。有時候沒有能力支付電費，屢屢接到市供電局停電通知，若再不繳費，面臨遙控自動停電危險。為了不出現(xiàn)第二個774廠811廠房停產(chǎn)局面，我不止一次地跑到位于前門地區(qū)北京市供電局，與其溝通，并設法尋找資金支付電費才得以保持運轉。

 

早期燕東不到100名員工主要來自878廠和器件二廠。設備部人員主要來自878廠，動力部人員主要來自器件二廠，公司領導和管理干部、工程技術人員和操作工人則來自兩廠。后來又從774廠進了一些技術人員和工人。到廠房建成、全線設備投入運行后，不斷地從878廠和774廠聘用一些已經(jīng)退休的、有經(jīng)驗的工程技術人員來增加技術力量。

 

在4英寸芯片線驗收前，余慶長和我商量，鑒于燕東公司4英寸線建設因資金問題延續(xù)了10年才建成，當初差不多同時起步的上海貝嶺公司早在1989年就建成投產(chǎn)而成為國內(nèi)[敏感詞]條4英寸線，而現(xiàn)時連首鋼日電公司國內(nèi)[敏感詞]條6英寸線都已投產(chǎn)5年了，國內(nèi)集成電路5大骨干企業(yè)：無錫華晶、紹興華越、上海貝嶺、上海飛利浦、北京首鋼日電，都已建成投產(chǎn)，我們再去與他們拼集成電路產(chǎn)品，肯定難度很大。為了企業(yè)生存，不如來一個“回馬槍”，回過頭來主攻半導體分立器件，兼作集成電路。因為以燕東現(xiàn)有的凈化廠房和4英寸線設備條件與國內(nèi)分立器件兄弟廠條件相比的話，可以排在前三名之內(nèi)。但大部分中層干部開始時都不贊成，最后在我倆做工作后都表示同意。這一種“退一步 進兩步”的戰(zhàn)略決策使得燕東公司之后能在國內(nèi)外激烈的市場競爭中不倒而不斷前進具有長遠的意義。這是因為在集成電路大批量生產(chǎn)后在各類電子整機中廣泛應用之后，并沒有出現(xiàn)晶體管出來后基本取代電子管的局面，半導體分立器件（晶體二極管和三極管）仍然在整機中有應用價值，形成采用集成電路為主、分立器件為輔的局面。

 

為此，我們從774廠聘了兩位顧問，一位就是許同玉，另一位是搞背面金屬化的技術人員，因為晶體管與集成電路不同的工藝主要就是背面金屬化。774廠搞了20多年的晶體管，卻沒有解決這一關鍵工藝。當年無錫742廠還從國外公司花重金引進這一單項工藝。我請部里半導體處關白玉與他們聯(lián)系后，帶燕東工藝技術員和北京儀器廠技術人員一起去已改名為華晶公司學習。但工藝因合同規(guī)定不能外流，只讓測繪了用于3英寸硅片的電子束蒸發(fā)臺?；貋砗笥杀眱x廠試制用于4英寸硅片的電子束蒸發(fā)臺。設備搞出來了，可是連換了兩次主管技術員，背金工藝依然沒有最終攻克，有待解決。

 

1996年下半年北京市電子辦領導貫徹[敏感詞]關于企業(yè)領導班子年輕化的政策，陸續(xù)調整所屬企業(yè)的領導成員。到1996年年底，市電子辦干部人事處處長來燕東公司召開中層以上全體領導干部會議，宣布調774廠副總裁謝小明來擔任燕東公司第三任總經(jīng)理。他是鄧小平恢復高考后成都電訊工程學院頭一屆畢業(yè)生，此時正值年輕力壯之際。會上并宣布，聘我為公司顧問。從此，燕東公司在新一屆年輕化領導班子的領導下，解決芯片背面金屬化難關，組織開發(fā)新產(chǎn)品，首先把晶體管進入批量生產(chǎn)階段，一步步“爬坡”，逐步做到扭虧為盈，使燕東公司在國內(nèi)外市場激烈競爭中生存下來，并且不斷地發(fā)展前進。

 

從燕東聯(lián)合公司成立，到引進4英寸芯片線項目驗收成功，經(jīng)歷長達10年之久。成立當初，是在北京電子振興領導小組辦公室陸首群主任領導下。后來主管電子部下放北京市的12個企業(yè)的北京市電子工業(yè)辦公室（稱為小電辦）和原來的北京市計算機工業(yè)總公司、北京市廣播電視工業(yè)總公司，以及北京市儀器儀表工業(yè)總公司合并，組成新的北京市電子工業(yè)辦公室（稱為大電辦），由電子振興辦主任陸首群兼任新電子辦主任，兩辦合署辦公，一套班子兩塊牌子。之后在陸首群調走后，由774廠廠長張仲文接任市電子辦主任。到燕東公司項目驗收時，市電子辦主任已由738廠廠長鮑玉桐接任。上級領導機構及其負責人雖幾經(jīng)變動調整，但對燕東公司的支持始終如一，堅持不斷。這是燕東公司長期不倒而能取得成功的重要原因。

 

五、燕東公司成長擴大階段

 

燕東公司自1997年初開始, 在謝小明擔任總經(jīng)理新的領導班子領導下，在已建成的凈化廠房和引進的4英寸芯片生產(chǎn)線成套設備基礎上，在產(chǎn)品方向由集成電路向分立器件為主這一戰(zhàn)略轉移方針引導下，開始前進。過后不久，又從774廠調來淮永進擔任燕東公司總工程師，他是蘭州大學本科畢業(yè)，又在西安交通大學上研究生，獲得碩士學位。分立器件相對集成電路而言，從集成度講是降低了，但對晶體管的參數(shù)要求更嚴格了，而且在分立器件中有一些獨特的工藝，例如，為降低粘結芯片時的接觸電阻，需要有硅片背面金屬化這道工藝。燕東要做分立器件，背面金屬化就是一只“攔路虎”。背面金屬化有背金和背銀兩種工藝。首先，燕東主管技術人員利用北京儀器廠研制的電子束蒸發(fā)臺先攻下了背銀工藝。當時上分立器件后，燕東承接對臺來料加工。我在1997年2月退休后當顧問期間，當年5月底，參加中國半導體行業(yè)協(xié)會組織的大陸代表團，赴臺參加“兩岸半導體學術研究與產(chǎn)業(yè)發(fā)展研討會”。會議之后，我到燕東為其加工晶體管芯片的華昕公司參觀，了解到他們對用作背金工藝的電阻式蒸發(fā)臺所做的改裝?；貋砗笱鄸|公司工藝工程師和設備維修人員在此啟示下，共同努力改裝了蒸發(fā)臺，又經(jīng)過無數(shù)次試驗，最終在主管技術人員李顯榮反復試驗后也攻克了背金工藝。解決了背面金屬化之后，燕東生產(chǎn)的分立器件順利地得到用戶的肯定。

 

到1999年9月，我結束燕東公司顧問工作，離開1963年清華大學畢業(yè)后到774廠開始工作以來36年的酒仙橋地區(qū), 回到清華大學，參與臺灣朋友組建的大茂國際公司團隊，協(xié)助清華大學微電子研究所上5英寸工藝試驗線。

 

堅持以市場為導向，大力開發(fā)新產(chǎn)品

 

以前計劃經(jīng)濟年代，全國電子工業(yè)每年春季和秋季各組織一次全國電子元器件訂貨會。半導體工廠一般是先自行研究開發(fā)新產(chǎn)品，并逐步形成系列，出了樣品后給用戶試用，經(jīng)用戶認可后才投入批量生產(chǎn)，然后逐步推廣。在改革開放市場經(jīng)濟大環(huán)境下，情況大不相同。特別是廣東珠江三角洲沿海地區(qū)先發(fā)展起一大批來料加工的電子整機企業(yè)，生產(chǎn)各種各樣家用電器和電子小整機，所需電子元器件品種多、數(shù)量大。燕東決心上分立器件后，新上任的總經(jīng)理謝小明經(jīng)常親自前往廣東沿海了解市場需求，進而組織技術組工程師開發(fā)市場急需的品種。除了在職在崗的青壯年工程技術人員之外，公司還聘用不少本地區(qū)（包括774廠和878廠）已退休的有經(jīng)驗的教授級高級工程師和高級工程師來燕東繼續(xù)發(fā)揮余熱，他們?yōu)殚_發(fā)新產(chǎn)品及提高工藝技術水平作出了不可磨滅的貢獻。

 

扭虧為盈不斷進行設備更新升級

 

任何一條半導體芯片線建成投產(chǎn)之后，都得經(jīng)過一個“爬坡”期，即在小批量投產(chǎn)后逐漸增加月產(chǎn)片量，由幾百片提升至幾千片，上萬片，直至國際上通常認為的規(guī)模經(jīng)濟月產(chǎn)20000片的水平。到2001年燕東公司已達到盈虧平衡。自此以后，從微利逐步提高到年盈利率百分之幾、百分之十幾，乃至20％以上。開始盈利后，重點增添“細脖子”工序的設備，使產(chǎn)量繼續(xù)增加。燕東公司經(jīng)過8年，到2004年達到月產(chǎn)4英寸片20000片。之后，從2005年12月開始籌劃采購6英寸設備，到2007年3月建成6英寸線開始投片。到2011年年底達到月產(chǎn)20000片4英寸片、10000片6英寸片的水平。到2012年6英寸片月產(chǎn)量也達到20000片，到2013年12月更達到30000片。而且6英寸設備的光刻和刻蝕設備已具備0.5微米的水準，為今后擴大產(chǎn)品范圍提供了良好的物質基礎。

 

“退一步  進兩步”戰(zhàn)略決策見成效

 

在芯片線驗收投產(chǎn)前，燕東公司領導做出“退一步 進兩步”的戰(zhàn)略決策，“退一步”就是從集成電路退回搞分立器件為主，使企業(yè)在激烈的國內(nèi)外市場競爭的環(huán)境中，不但避免了夭折的危險，使企業(yè)生存了下來，而且使企業(yè)從小到大，逐漸發(fā)展壯大起來。這是因為雖然出現(xiàn)了集成電路，甚至快速發(fā)展到大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路之后，分立器件不但沒有完全被取代，而且繼續(xù)存在著巨大的市場。分立器件較集成電路容易在競爭中立住腳，因為一般來說，其開發(fā)新產(chǎn)品的成本比集成電路低，而且生產(chǎn)周期短，出貨快。在半導體企業(yè)經(jīng)營模式上，燕東公司沒有采用當時中國大陸許多集成電路廠家采取的“代工”模式，而仍然走IDM模式，即以自我開發(fā)產(chǎn)品直接進入市場。而且后來又建起了封裝車間，把管子芯片封成芝麻管，使部分產(chǎn)品以最終成品方式直接供應用戶，從而增加了營收。2008年手機用的小型封裝SOP923也投入量產(chǎn)。并且在2015年又到密云建設了封裝基地，使封裝產(chǎn)能逐年不斷提高。而在分立器件站穩(wěn)之后，公司回過頭來又積極開發(fā)雙極型模擬電路產(chǎn)品，逐步提高集成電路的投片量比例。這就實現(xiàn)了[敏感詞]個“進一步”。如前所述，又從4英寸硅片進展到6英寸，從而實現(xiàn)了第二個“進一步”。這樣，“退一步 進兩步”的戰(zhàn)略決策得以實現(xiàn)。

 

兄弟企業(yè)分步組合 逐步擴大形成拳頭

 

由于燕東公司在市場競爭過程中能夠由小到大，逐步發(fā)展起來，給北京市屬半導體器件行業(yè)重組創(chuàng)造了條件。先是北京市半導體器件五廠于2010年初與燕東公司組合，器件五廠的雙極型穩(wěn)壓電源電路芯片由燕東公司流片生產(chǎn)，而五廠的封裝車間早已移入燕東廠區(qū)進行生產(chǎn)。再是北京宇翔電子有限公司（原為北京市半導體器件三廠）于2011年5月也與燕東公司組合，并于2012年上半年將4英寸CMOS芯片線設備搬入燕東凈化廠房，經(jīng)過安裝調試投入使用。此外，生產(chǎn)半導體二極管的北京市半導體器件六廠、878廠沙威公司和生產(chǎn)光電器件的北京瑞普北光電子有限公司也先后與燕東公司實現(xiàn)了組合。總之，從2010年年初開始組合，到2012年6月份，北京市半導體器件三廠――北京宇翔電子有限公司、北京市半導體器件五廠、北京市半導體器件六廠、878廠――沙威公司，以及北京瑞普北光電子有限公司都先后組合到燕東公司，形成集團化組織。這樣，北京市器件行業(yè)完成了實質性整合，并進入了發(fā)展快車道。在此組合的過程中，上級領導機關又對燕東公司領導班子作了調整，謝小明擔任董事長，淮永進出任第四任總經(jīng)理。燕東公司不但由于北京地區(qū)其他兄弟企業(yè)組合進來而擴大，而且由于首鋼日電公司6英寸線在其20年合資期滿后停止運行、退出芯片制造行業(yè)而成為封裝測試企業(yè)，其中90多名6英寸線上工作的技術人員、操作工人和設備維修人員轉到燕東公司工作，從而增加了燕東公司的技術和設備維修力量。

 

燕東公司經(jīng)過30年的艱苦歷程，發(fā)展成為既生產(chǎn)分立器件，又生產(chǎn)集成電路；既有雙極型工藝，又有CMOS工藝的IDM模式的半導體生產(chǎn)企業(yè)，逐步擴大成為北京市國有半導體拳頭企業(yè)，在競爭中求生存，并在競爭中不斷發(fā)展壯大，連續(xù)15年快速增長。目前企業(yè)資產(chǎn)總量已達到15.11億元，是“十二五”初期3.6倍；2016年營業(yè)收入達到7.57億元，年均增長率連續(xù)4年保持20％以上。燕東公司獲得中國半導體功率器件十強企業(yè)稱號。

 

六、燕東新廠建設發(fā)展階段

 

2017年是燕東公司成立30周年。

2017年9月1日中國[敏感詞]北京燕東微電子有限公司[敏感詞]次代表大會召開，我有幸作為退休黨員的代表參加了會議。會上燕東公司黨委書記王海鵬在報告中提出“二次創(chuàng)業(yè)”目標，燕東公司的奮斗目標是：團結一致，開拓進取，為打造又專又精具有全球競爭力的通用半導體公司而努力奮斗，使企業(yè)通過深度市場化改造走向國際化，在國內(nèi)要成為知名的高可靠器件供應商。會議期間全體代表拍照留影，見圖十七。

 

圖十七、燕東公司[敏感詞]次黨代表大會留影。

照片[敏感詞]排左起：4王海鵬，5謝小明，8淮永進

 

經(jīng)過多年醞釀選擇考慮，燕東公司作出了今后發(fā)展的重要戰(zhàn)略抉擇，決定就在北京建設特種工藝8英寸芯片生產(chǎn)線。這一8英寸線集成電路研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項目是北京電子控股有限責任公司（1997年4月8日創(chuàng)立，原市電子辦撤銷）歷史上除京東方之外的[敏感詞]的單筆支持項目。北京市成立了燕東8英寸線項目辦公室。過去燕東公司初創(chuàng)時期是我們?nèi)フ沂虚L，現(xiàn)在則是新上任的副市長主動來調研。燕東8英寸線項目還得到國家大基金的全力支持。項目技術目標：25次光刻，0.11微米。產(chǎn)能目標：月產(chǎn)8英寸片50000片。根據(jù)北京市總體規(guī)劃，新廠就建在位于亦莊的北京經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)內(nèi)。目前新的凈化廠房正在建設之中，而且已派一批工程技術人員前往馬來西亞進行技術培訓。計劃到2018年6月廠房封頂，9月進工藝設備，年底建成投入使用。

 

創(chuàng)新是發(fā)展的源泉，燕東公司現(xiàn)在高度重視技術創(chuàng)新能力的提升，先后與清華大學、中科院以及國內(nèi)外多個技術團隊聯(lián)合承擔了多項科研項目攻關，并且成立市場化方向的設計平臺，采用產(chǎn)業(yè)并購方式強化設計能力，先后與西安交通大學、電子科技大學、北京工業(yè)大學等建立產(chǎn)學研教聯(lián)盟。

 

燕東公司從4英寸線起步，經(jīng)過6英寸線階段，現(xiàn)正向8英寸線前進。這一發(fā)展成長過程雖然漫長而艱辛，但還是挺過來了，一步一步札實地向前走?，F(xiàn)在的夢想則是今后也能建設12英寸線，的確，擺在燕東公司面前還有更長的路要走。

 

現(xiàn)今燕東人決心全面把握機遇，沉著應對挑戰(zhàn)，繼承和發(fā)揚艱苦創(chuàng)業(yè)、敢為人先的優(yōu)良傳統(tǒng)，解放思想，開拓進取，奮發(fā)有為，為實現(xiàn)燕東“十三五”發(fā)展目標而不斷努力。

 

成功沒有終點，奮斗才是永遠！

 

七、結束語

 

鐘表在擺動，時間在流逝。眼睛一眨，今年已進入2017年。我已于2月2日度過了80周歲的門坎，退休已經(jīng)20年。到今年10月下旬，中國[敏感詞]第十九次全國代表大會在北京召開。[敏感詞]總書記在大會上作了具有歷史意義的報告。以前黨代會提出到本世紀中葉國家基本實現(xiàn)現(xiàn)代化。這次[敏感詞]在報告中提出到2035年基本實現(xiàn)社會主義現(xiàn)代化。這表明我們國家將提前完成基本實現(xiàn)現(xiàn)代化的目標。[敏感詞]提出的“中國夢”的藍圖是：到本世紀中葉建成富強民主文明和諧美麗的社會主義現(xiàn)代化強國。

 

眼看著2018年元旦不久就要來臨了。在我腦海中游蕩了50多年的酒仙橋地區(qū)集成電路夢快要完夢了。1965年從774廠三室開始獨立自主研制固體電路起步，1968年開始創(chuàng)建我國[敏感詞]家集成電路專業(yè)化工廠：878廠，1987年成立燕東公司，由小方片經(jīng)過2英寸片、3英寸片、4英寸片、6英寸片，一直發(fā)展到在建8英寸線，迄今歷經(jīng)漫長的53年。在即將來臨的2018年，酒仙橋地區(qū)這只集成電路“金鳳凰”將要飛到亦莊經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)去了，將和我國[敏感詞]座12英寸芯片廠——中芯國際公司北京工廠作伴。祝愿這只“金鳳凰”飛得更高更遠；祝愿燕東8英寸芯片廠早日建成投產(chǎn)并達產(chǎn)，而且在不久的將來，燕東12英寸芯片廠也能相繼問世，為譜寫北京集成電路發(fā)展歷史增添新篇章，貢獻新力量！

 

一萬年太久，只爭朝夕！ 

八、鳴謝

 

承蒙許同玉、秦鵬二位對774廠部分，李優(yōu)仁、劉和益二位對器件二廠部分提供寶貴素材，特此表示衷心感謝。劉和益也是清華同班同學，曾任器件二廠副廠長。感謝陸首群主任閱后提出寶貴的修改意見。